Geçtiğimiz günlerde Çin’in kendi DUV yonga döküm ekipmanını ürettiği haberi gündeme bomba gibi düşmüştü. Ağır ambargolara rağmen Çin’in attığı adımlar Batıyı tedirgin ediyor ancak henüz emekleme aşamasında. Çin biraz geriden geliyor
Çin Endüstri ve Teknoloji Bakanlığı tarafından yayınlanan DUV döküm ekipmanının dokümanları Batılı yayınlar tarafından didik didik inceleniyor. İlk izlenimlere göre 20 yıldır sektörde kullanılan Argon Florid döküm makinesi söz konusu.
193nm ışık dalga boyunda 65nm çözünürlükte plaka dökebilen DUV cihazının 2009 yılındaki ASML döküm makineleri ile eşdeğer olduğu belirtiliyor. Firmanın o yılda kullanılan TWINSCAN XT:1460K döküm cihazı 65nm çözünürlüğün biraz daha altındaydı ancak Çin’in 8nm kaplama teknolojisine karşın 2.5nm kaplama teknolojisi ile halen avantajlı durumda.
Görünüşe göre Çin’in alması gereken daha çok yol var ancak hükümetin her zaman bir yolunu bularak yonga üretimini sekteye uğratmamaya çalıştığı bariz bir şekilde görülüyor. Aradaki 15 yıllık farkın kapanması çok da uzun sürmeyecektir.
